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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 专利 申请日期: 2011-12-15, 作者:  夏洋;  汪明刚;  李超波;  屈芙蓉 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/09/14 用于检测等离子体浸没注入剂量的法拉第杯 专利 专利号: CN101615578, 申请日期: 2009-07-23, 公开日期: 2009-12-30, 2010-11-26 作者:  赵丽莉;  陈瑶;  汪明刚;  刘杰;  夏洋 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2010/11/26 一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置 专利 申请日期: 2009-03-25, 公开日期: 2013-11-05 作者:  汪明刚;  刘杰;  夏洋;  李超波;  陈瑶 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2013/11/05