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短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  樊孝贺
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2020/08/24
集成光学移相器波长相关性的比较研究 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 05, 页码: 215-219
作者:  丁君珂;  陈浩;  蒋建光;  孟浩然;  刘欣悦
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2020/08/24
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/23
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/17
扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  姜珊
收藏  |  浏览/下载:101/0  |  提交时间:2015/11/30
光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2016/07/06
菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2015
作者:  毛石磊
收藏  |  浏览/下载:121/0  |  提交时间:2016/04/11
剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
于长淞; 代雷
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2015/04/17
前馈控制算法校正相移微动台非线性运动 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 8, 页码: 879-884
张春雷; 刘健; 王绍治; 史振广; 代雷; 彭利荣; 向阳
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2015/04/17
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
方超; 向阳
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2015/04/17


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