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五维自由度衍射光栅精密测量系统(英文) 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202
作者:  吕强;  王玮;  刘兆武;  宋莹;  姜珊
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2021/07/06
基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  吕强
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2020/08/24
大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  姚雪峰
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/23
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天
收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2018/04/09
共光路动态干涉仪的关键技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  韩冬松
收藏  |  浏览/下载:86/0  |  提交时间:2015/11/30
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:  杨超;  于海利;  张善文;  于宏柱;  李晓天
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2016/07/06
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
杨超; 于海利; 冯树龙; 李晓天; 齐向东; 姜珊; 唐玉国
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2015/04/17
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 03, 页码: 232-239
李晓天; 巴音贺希格; 齐向东; 于海利; 唐玉国
收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2014/03/07


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