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Ar对柱状靶多弧直流磁控溅射制备的Cu_3N薄膜的沉积速率、结构、形貌和热稳定的影响 会议论文
第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
作者:  王明旭;  张广安;  吴志国;  范晓彦;  闫鹏勋
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2015/06/25


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