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A method to reduce notching effect on the anchors of a micro-gyroscope 其他
2011-01-01
Hong, Peizhen; Guo, Zhongyang; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen
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反应离子深刻蚀中加强热传递和抑制Notching效应的方法 期刊论文
电子学报, 2010
丁海涛; 杨振川; 闫桂珍
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A dual-purpose method to enhance heat transfer and prevent notching effect in deep reactive ion etching 期刊论文
tien tzu hsueh paoacta electronica sinica, 2010
Ding, Hai-Tao; Yang, Zhen-Chuan; Yan, Gui-Zhen
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Performance Comparison of Methods to Evading Notching Effect for SOG Structures in DRIE 其他
2009-01-01
Ding, Haitao; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/11/10
Design and Analysis of an I-shaped TSV Structure for 3D SiP 其他
2008-01-01
Zhao, Liwei; Liao, Hongguang; Miao, Min; Jin, Yufeng
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Trench profile control of silicon DRIE process on ICP tools 期刊论文
zhongguo jixie gongchengchina mechanical engineering, 2005
Chen, Jing
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Study of heat transfer on notching effect in DRIE 其他
2004-01-01
Li, Xiuhan; Zhang, Dacheng; Yu, Xiaomei
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