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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于表面牺牲层工艺微谐振器的金属化与释放 其他 2009-01-01 黄一峰; 阎博; 陈兢 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 微谐振器 多晶硅 表面牺牲层 制备工艺   微机械光开关中的微扭转镜阵列 其他 2000-01-01 张培玉; 郝一龙; 李婷 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 微扭转镜  微机械光开关  多晶硅薄膜  微光机电系统