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科研机构
厦门大学 [2]
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学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2014 [2]
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铝分层诱导晶化非晶硅的研究
期刊论文
2014
孙钦钦
;
王鹏
;
陈松岩
;
李成
;
黄巍
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2016/05/17
铝诱导晶化
双层结构
择优取向
aluminum induced crystallization
bilayer structure
preferential orientation
铝诱导晶化法制备高质量多晶Si、SiGe材料的研究
学位论文
2014, 2014
孙钦钦
收藏
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2016/01/12
铝诱导晶化
多晶硅
多晶硅锗
AIC
Poly-Si
Poly-SiGe
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