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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 采用环形岛棱结构的电容式压力传感器(英文) 期刊论文 2009 邹黎明; 郭航 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/05/17 微机电系统  电容式压力传感器  线性度  有限元法  MEMS  capacitive pressure sensor  linearity  Finite Element Method(FEM)