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清华大学 [4]
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期刊论文 [4]
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2016 [1]
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布线图案导致的集成电路平坦化损伤研究
期刊论文
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郭玉龙
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潘国顺
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GUO Yulong
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GUO Dan
;
PAN Guoshun
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LUO Jianbin
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铁基合金中板条马氏体帐篷型表面浮凸位移的定量分析
期刊论文
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永磁流变抛光纳米精度非球面技术研究
期刊论文
2010, 2010
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Surface roughness and removal rate in magnetorheological finishing of a subsurface damage free surface
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2010, 2010
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Cheng, K
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