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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Adjustment Strategy for Inclination Moire Fringes in Lithography by Spatial Frequency Decomposition 期刊论文 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Su, Xianyu;  You, Zhisheng 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/07/10 Proximity lithography  mask-wafer alignment  phase analysis  spatial frequency   Gap-optimized Moire phase imaging alignment for proximity lithography 期刊论文 OPTICAL ENGINEERING, 2015, 卷号: 54, 期号: 1 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  You, Zhisheng;  Su, Xianyu 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/07/10 lithography  alignment  Moire techniques   Gap-optimized Moiré phase imaging alignment for proximity lithography 期刊论文 Optical Engineering, 2015, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 17105 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  You, Zhisheng;  Su, Xianyu 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/23 Adjustment strategy for inclination moiré fringes in lithography by spatial frequency decomposition 期刊论文 IEEE Photonics Technology Letters, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Su, Xianyu;  You, Zhisheng 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/23 Experimental study of Talbot imaging moire-based lithography alignment method 期刊论文 OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2014, 卷号: 58, 页码: 54-59 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Zhou, Pei;  Yu, Junsheng 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/07/10 Alignment  Moire techniques  Gratings  Talbot and self-imaging effects   Experimental study of Talbot imaging moiré-based lithography alignment method 期刊论文 Optics and Lasers in Engineering, 2014, 卷号: 58, 页码: 54-59 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Zhou, Pei;  Yu, Junsheng 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/23 Four-quadrant gratings moire fringe alignment measurement in proximity lithography 期刊论文 OPTICS EXPRESS, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng.;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/04/17 Four-quadrant gratings moiré fringe alignment measurement in proximity lithography 期刊论文 Optics Express, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, JunshenG.;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/23 Simultaneous phase-shifting ellipsometry based on grating beamsplitter 期刊论文 opt. eng., 2008, 卷号: 47, 期号: 6, 页码: 63602 Yang Kun; 曾爱军; 王向朝; 唐锋; Wang Hua 收藏  |  浏览/下载：1022/136  |  提交时间：2009/09/18 ellipsometry  simultaneous phase shift  thin films  optical constants