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偏压对高功率脉冲磁控溅射法沉积MoN涂层结构及性能的影响
期刊论文
摩擦学学报, 2023, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 1118-1127
作者:
康建
;
隋旭东
;
杨淑燕
;
周海斌
;
郝俊英
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提交时间:2023/12/06
磁控溅射非晶硅薄膜质量的测量
期刊论文
金属功能材料, 2022, 卷号: 29, 期号: 02, 页码: 20-27
作者:
杨淞婷
;
张海民
;
项羽杰
;
罗永春
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2022/04/21
非晶硅薄膜
磁控溅射
质量标定
不确定度
用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究
期刊论文
原子能科学技术, 2020, 期号: 2020-06, 页码: 968-974
作者:
尚伦霖
;
周意
;
吕游
;
张广安
;
李文生
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2020/11/11
微结构气体探测器
类金刚石碳阻性电极
面电阻
磁控溅射法制备FeCrAlY薄膜表征及其在高温水环境中的抗腐蚀性能研究
期刊论文
表面技术, 2020, 卷号: 49.0, 期号: 1.0, 页码: 72-78
作者:
崔勇
;
李长记
;
李静
;
熊良银
;
刘实
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2021/02/02
磁控溅射法
锆合金
铁铬铝钇薄膜
高温水蒸气环境
氧化铝膜
腐蚀性能
磁控溅射镀铽在烧结钕铁硼中的晶界扩散研究
期刊论文
稀土, 2019, 卷号: 40, 期号: 01, 页码: 66-72
作者:
武秉晖
;
肖松
;
李伟东
;
丁雪峰
;
冒守栋
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2019/12/18
不同溅射功率下PEN/Ti纳米复合薄膜的制备及性能研究
期刊论文
功能材料, 2018, 卷号: 49, 期号: 2018年10期, 页码: 10020-10025
作者:
丁雨田
;
陈建军
;
高钰璧
;
许佳玉
;
柴利强
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2019/11/13
纳米复合薄膜
溅射功率
表面粗糙度
沉积速率
弹性模量
空间部件表面Ti/MoS_2润滑涂层性能研究
期刊论文
真空科学与技术学报, 2018, 卷号: 38, 期号: 10, 页码: 901-905
作者:
鞠鹏飞
;
王海新
;
蒲吉斌
;
王立平
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2019/12/18
低Si含量WSiN涂层的结构和摩擦学行为
期刊论文
中国表面工程, 2018, 卷号: 31, 期号: 05, 页码: 108-117
作者:
李科
;
邵涛
;
葛芳芳
;
黄峰
;
冯庆
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2019/12/18
基于DLC薄膜的干气密封端面摩擦试验分析
期刊论文
甘肃科学学报, 2018, 期号: 2018年03期, 页码: 117-122
作者:
丁雪兴
;
金海俊
;
赵海红
;
俞树荣
;
张伟政
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2019/11/13
干气密封
类金刚石薄膜
摩擦磨损
温升
波动
直流磁控溅射法制备PEN/Ti复合振膜
期刊论文
功能材料, 2018, 卷号: 49, 期号: 2018年05期, 页码: 5169-5173+5179
作者:
丁雨田
;
陈建军
;
高钰璧
;
许佳玉
;
孟斌
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2019/11/13
复合振膜
弹性模量
磁控溅射
工艺参数
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