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碳源入射角对超薄四面体非晶碳膜结构和性能的影响 期刊论文
硅酸盐学报, 2022, 卷号: 50, 期号: 5, 页码: 1-6
作者:  党坤;  王华;  陈维铅;  李玉宏;  许世鹏
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