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用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究 期刊论文
量子电子学报, 2018, 卷号: 035
作者:  张威;  方晓东;  梁勖
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/11/25
光源掩模协同优化的原理与应用 期刊论文
半导体技术, 2017
作者:  韦亚一;  董立松;  何建芳;  陈文辉
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/06/08
Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811001
作者:  Yang CX(杨朝兴);  Li SK(李思坤);  Wang XC(王向朝)
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2017/12/25
Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者:  Yang CX(杨朝兴);  Li SK(李思坤);  Wang XC(王向朝)
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/12/25
Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者:  Wang XC(王向朝);  Yang CX(杨朝兴);  Li SK(李思坤)
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/12/25
Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811001
作者:  Wang XC(王向朝);  Yang CX(杨朝兴);  Li SK(李思坤)
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2017/12/25
用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 卷号: 045
作者:  张威;  梁勖;  陶汝华;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2020/11/25
高效率X射线光刻在单级光栅研制中的应用 期刊论文
微纳电子技术, 2015
作者:  谢常青;  朱效立;  施百龄
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/05/24
一种增大工艺窗口的光源优化方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 卷号: 52, 期号: 10, 页码: 151-157
作者:  江海波
收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2016/11/01
基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 422002
作者:  王磊;  李思坤;  王向朝;  闫观勇;  杨朝兴
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28

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