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Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:  Li SK(李思坤);  Zhang H(张恒);  Meng ZJ(孟泽江);  Zhu BE(诸波尔);  Yan GY(闫观勇)
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/12/25
Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者:  Zhu BE(诸波尔);  Wang XC(王向朝);  Li SK(李思坤);  Yan GY(闫观勇);  Shen LN(沈丽娜)
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2017/12/25
Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者:  Li SK(李思坤);  Wang XC(王向朝);  Zhu BE(诸波尔);  Duan LF(段立峰);  Shen LN(沈丽娜)
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2017/12/25
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:  Yan GY(闫观勇);  Shen LN(沈丽娜);  Wang XC(王向朝);  Li SK(李思坤);  Zhu BE(诸波尔)
收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2017/12/25
双曲波前差自扫描直视合成孔径激光成像雷达原理 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 128001
作者:  刘立人
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/28
基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法研究 期刊论文
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 1108001
作者:  胡仕玉;  曾爱军;  谷利元;  黄惠杰;  胡国行
收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2016/11/28
投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 611003
作者:  沈丽娜;  李思坤;  王向朝;  闫观勇
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/28
直视合成孔径激光成像雷达双面反射棱镜旋转发射装置内发射场的空间波前特性研究 期刊论文
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 1228001
作者:  马小平;  孙建锋;  卢智勇;  周煜;  职亚楠
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/28
一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法 期刊论文
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 622002
作者:  涂远莹;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/28
离焦系统下的单分子三维取向研究 期刊论文
光学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 5, 页码: 766, 770
王金媛; 王琛; 刘力; 王桂英
收藏  |  浏览/下载：2501/1030  |  提交时间：2009/09/18

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