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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 三级公自转行星系统中弯月透镜表面膜厚均匀性的研究 期刊论文 光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 10, 页码: 264-272 作者:  张静;  陈延涵;  朱忠尧;  付秀华;  张功 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2023/05/18 预置曲率研磨盘提高行星研磨技术去除函数稳定性 期刊论文 光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 07, 页码: 1620-1630 作者:  海阔;  曾雪锋;  李锐钢;  李英杰;  李龙响 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2022/06/29 预置曲率研磨盘提高行星研磨技术去除函数稳定性 期刊论文 光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 07, 页码: 1620-1630 作者:  海阔;  曾雪锋;  李锐钢;  李英杰;  李龙响 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2022/06/13 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/09/17 薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/Si多层膜