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| 绝地传感器芯片 成果
鉴定: 无, 2010
未知
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| 微型惯性传感器 成果
鉴定: 无, 2009
焦继伟等
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| 自呼吸式微型质子交换膜燃料电池的阴极流场板及制作方法 成果
鉴定: 无, 2008
夏保佳; 郑丹; 张熙贵
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| MEMS高G量程加速度传感器 成果
鉴定: 无, 2008
未知
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| 微系统若干前沿技术研究 成果
鉴定: 无, 2008
封松林
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| 一种圆片级微机械器件和光电器件的低温气密性封装方法 成果
鉴定: 无, 2008
刘玉菲; 吴亚明; 李四华
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| 用于MEMS微机械加工的多层绝缘体上的硅材料及方法 成果
鉴定: 无, 2008
未知
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| MEMS器件真空封装工艺模拟软件与IP库 成果
鉴定: 无, 2007
未知
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| 一种微型扭转式单刀双置射频开关结构及制作方法 成果
鉴定: 无, 2007
焦继伟; 黄蓉; 王跃林
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| 微型加速度传感器在石油勘探中的应用 成果
鉴定: 无, 2007
未知
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