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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：成果    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 大刚度超精密1:1扫描投影光刻机气浮工件台 成果 长春市优秀成果奖: 一等奖, 1992 梁万兆; 朴哲秀; 邹海兴; 徐宏; 崔长植 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2014/11/24 气浮工作台  投影光刻机