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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 极紫外光刻物镜系统光学设计研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  王君 收藏  |  浏览/下载：118/0  |  提交时间：2015/11/30 极紫外光刻  光学设计  多层膜  杂散光   基于环形抛光法若干确定性控制问题的研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  焦翔 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/28 环形抛光  大口径光学元件  极限精度  面形控制  平衡态   船载光测设备精度分析及数据处理 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2014 盛磊 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2014/08/21