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Optimization of residual stress of SiO2/organic silicon stacked layer prepared using inductively coupled plasma deposition 其他
2017-01-01
Hsu, Chia-Hsun; Cho, Yun-Shao; Liu, Ting-Xuan; Chang, Hsi-Wei; Lien, Shui-Yang
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/12/03
Nanoscale Ge Fin Etching Using Inductively Coupled Plasma for Ge-based Multi-gate Devices 其他
2016-01-01
Bingxin Zhang; Xia An; Yuxuan Xia; Ming Li; Meng Lin; Peilin Hao; Xing Zhang; Ru Huang
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/12/03
Rare Earth Elements Geochemistry of Ceramics Excavated from Tongguanyao Site, China 其他
2015-01-01
Mao, Longjiang; Du, Jijing; Mo, Duowen; Yang, Jinghong; Gu, Haibin
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/12/03
Inductively coupled plasma etching of bulk tungsten for MEMS applications 其他
2014-01-01
Song, Lu; Li, Nannan; Zhang, Shibin; Luo, Jin; Hu, Jia; Zhang, Yiming; Chen, Shuhui; Chen, Jing
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
The experimental research on uniformity of argon inductively coupled plasma at different cylinder heights 其他
2013-01-01
Wang, Song B; Zhang, Xian Hui; Wang, Hong Zhe; Liu, Lin Ying; Zhou, Ren Wu; Yang, Si Ze; Liu, Dong Ping; 杨思泽; 刘东平
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/07/22
INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ETCHING OF BULK MOLYBDENUM 其他
2012-01-01
Hu, J.; Zhang, Y.; Chen, S.; He, S.; Li, N.; Chen, J.
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
A dual polarization optical 90 degrees-hybrid in silicon-on-insulator waveguides 其他
2011-01-01
Li, Yanping; Hong, Tingting; Wang, Ziyu
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A dual polarization optical 90-hybrid in silicon-on-insulator waveguides 其他
2010-01-01
Li, Yanping; Hong, Tingting; Wang, Ziyu
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
MgAPO-11分子筛的合成、表征及其催化正己烷裂解反应的动力学研究 其他
2009-01-01
冯利利; 齐兴义; 李征; 朱岳麟; 李星国
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Evalution of Bulk Titanium DRIE Using SU-8 As Soft Mask 其他
2009-01-01
Zhao, Gang; Tian, Yao; Shu, Qiong; Chen, Jing
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