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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 SiC薄膜制备MEMS结构 其他 2005-01-01 王煜; 郭辉; 张海霞; 田大宇; 张国炳; 李志宏 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 SiC薄膜  谐振器  残余应力检测结构  MEMS   不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究 其他 2005-01-01 王莎莎; 陈兢; 张海霞 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11 氮化硅薄膜  牺牲层材料  微机械系统  残余应力测试  LPCVD   复合材料及其结构的力学进展（第二册） 其他 王震鸣; 范赋群主编 收藏  |  浏览/下载：9/0