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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A Paradigm Shift in Patterning Foundation from Frequency Multiplication to Edge-Placement Accuracy - A Novel Processing Solution by Selective (CPCI-S收录) 会议 作者:  Han, Ting[1];  Liu, Hongyi[1];  Chen, Yijian[1] 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/04/11 edge-placement errors (EPE)  alternating-material (dual-material) self-aligned multiple patterning (altSAMP)  alternating-material (dual-material) self-aligned quadruple/sextuple patterning (altSAQP/altSASP)  selective etching  cut-hole layout decomposition  probability of failure (POF)   Probabilistic failure assessment of a complex nozzle structure with flaw defect based on FITNET procedure (EI收录) 会议 Vancouver, BC, Canada, 作者:  Wang, Yan[1];  Wang, Yan-Wei[1];  Chen, Hanxin[1];  Ma, Linwei[1] 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/04/11 Cracks  Defects  Failure (mechanical)  Finite element method  Fracture mechanics  Intelligent systems  Monte Carlo methods  Nozzles  Pressure vessels  Probability  Safety engineering