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2015 [2]
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2010 [1]
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MPCVD制备SiC薄膜及其在重金属离子痕量检测方面的研究
会议论文
王春
;
黄楠
;
庄昊
;
杨兵
;
田清泉
;
郭宇宁
;
刘鲁生
;
姜辛
收藏
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2016/04/20
MPCVD
SiC薄膜
重金属离子检测
MPCVD法制备多孔碳膜用于高倍率电化学双电层电容
会议论文
TFC`15全国薄膜技术学术研讨会, 武汉, 2015-08-21
作者:
冯晨辰
;
吕嘉欣
;
吴爱民
;
黄昊
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/09
多孔碳
双电层电容器
高倍率性能
大电流充放电
Preparation of an optically activated field effect transistor based on diamond film
会议论文
SEVENTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS, 2010-09-24
作者:
Shi, Lingyun[1]
;
Tang, Ke[2]
;
Huang, Jian[3]
;
Zeng, Qinkai[4]
;
Wang, Linjun[5]
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2019/04/30
diamond
field effect transistor
MPCVD
Electrical properties of hydrogen terminated p-type diamond film
会议论文
OPTOELECTRONIC MATERIALS, PTS 1AND 2, 2010-08-01
作者:
Xia, Fuyuan[1]
;
Wang, Linjun[2]
;
Huang, Jian[3]
;
Tang, Ke[4]
;
Zhang, Jijun[5]
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/04/30
Diamond film
Hydrogen plasma
MPCVD
Annealing
Effects of deposition conditions and annealing process on the infrared optical properties of diamond films grown by MPCVD
会议论文
FIFTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS, 2004-01-01
作者:
Wang, LJ[1]
;
Xia, YB[2]
;
Zhang, ML[3]
;
Su, QF[4]
;
Gu, BB[5]
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/05/10
diamond film
optical properties
infrared spectroscopic ellipsometry (IRSE)
天线耦合式MPCVD制备大面积金刚石薄膜的研究
会议论文
中国仪器仪表学会第三届中国功能材料及其应用学术会议, 重庆, 1998
作者:
任英
;
冉均国
;
郑昌琼
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提交时间:2019/02/28
天线耦合式
MPCVD
制备
面积
金刚石薄膜
薄膜均匀性
输出功率
气体压力
甲烷浓度
沉积
波耦合
直径
位置
特点
设备
考察
基体
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