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科研机构
北京大学 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2010 [1]
2005 [1]
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微角振动陀螺仪的非线性行为与改进方案
会议论文
金志昊
;
赵前程
;
陈璞
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提交时间:2017/12/03
非线性
陀螺仪
微角振动
硅的电化学深刻蚀技术
会议论文
第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会, 2005
王连卫
;
吴俊徐
;
陈瑜
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2012/01/18
硅衬底 电化学深刻蚀 传感器 深反应离子刻蚀 阳极氧化 微纳米通道
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