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| 一种半绝缘表面等离子体波导太赫兹量子级联激光器的制作方法 专利
专利号: CN105449521B, 申请日期: 2019-05-14, 公开日期: 2019-05-14
作者: 万文坚; 曹俊诚
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| 一种半绝缘表面等离子体波导太赫兹量子级联激光器的制作方法 专利
专利号: CN105449521B, 申请日期: 2019-05-14, 公开日期: 2019-05-14
作者: 万文坚; 曹俊诚
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| 一种提高工艺等离子体均匀性的电极 专利
申请日期: 2018-01-01, 公开日期: 2018-10-19
作者: 刘永新; 赵凯; 张莹莹; 王友年
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| 测量真空离子镀和等离子体喷涂镀膜膜厚与均匀性的设备 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2018-06-12
作者: 赵栋烨; 牟宗信; 王奇; 丁洪斌
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| 测量真空离子镀和等离子体喷涂镀膜膜厚与均匀性的方法 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2017-09-29
作者: 赵栋烨; 牟宗信
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| 提高等离子体径向均匀性的等离子体腔室 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2017-01-04
作者: 高飞; 王友年
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| 消除接触孔工艺中桥接的方法 专利
专利号: CN201110208407.X, 申请日期: 2016-05-18, 公开日期: 2013-01-30
作者: 王桂磊 ; 李俊峰; 赵超
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| 阳极场辅磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520836093.1, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
作者: 张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健
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| 提高等离子体径向均匀性的等离子体腔室 专利
申请日期: 2016-01-01, 公开日期: 2017-01-04
作者: 高飞; 王友年
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| 一种用于匹配器设备的空气电容结构 专利
申请日期: 2013-01-25,
作者: 徐维江; 杨进; 夏洋; 李勇滔
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