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离子束增强沉积合成氮化钛薄层的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1061051, 申请日期: 1992-01-01, 公开日期: 1992-05-13
郑志宏; 王曦; 周祖尧; 杨根庆; 柳襄怀; 黄巍; 邹世昌; 杨∴
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全元素离子束材料表面改性技术 专利
申请日期: 1992-01-01, 公开日期: 1994-04-06
作者:  李国卿;  马滕才
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弧源-多离子束材料表面改性技术 专利
申请日期: 1992-01-01, 公开日期: 1993-07-28
作者:  陈宝清
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