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一种掩膜图形的优化方法、最佳焦平面位置测量方法及系统 专利
专利号: CN201610342206.1, 申请日期: 2017-06-30, 公开日期: 2016-07-20
作者: 韦亚一; 董立松; 宋之洋

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光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210206727.6, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20
赵磊; 巩岩; 倪明阳; 孙振

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高精度光学元件面形检测工装夹具 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210199493.7, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
作者: 王汝冬

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一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11
倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全

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复合光子筛投影式光刻系统 专利
专利号: CN201110234020.1, 申请日期: 2013-03-06, 公开日期: 2011-12-21
作者: 谢常青; 高南; 华一磊; 朱效立; 李海亮

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一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25
向阳; 齐克奇

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一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
赵磊; 巩岩; 张巍; 倪明阳

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一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-21, 公开日期: 2012-08-29
向阳; 齐克奇

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一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
巩岩; 张巍; 倪明阳; 赵磊; 王学亮; 袁文全

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