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基于相角估算的微电网逆变器离并网无缝切换控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN105762829A, 申请日期: 2016-07-13,
作者:  卞晶;  臧传治;  曾鹏
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2016/09/07
基于相角估算的微电网逆变器离并网无缝切换控制方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN105762829B, 申请日期: 2016-07-13, 公开日期: 2018-01-02
作者:  臧传治;  曾鹏;  卞晶
收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2018/01/04
一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 申请日期: 2015-01-14,
作者:  刘明哲;  徐皑冬;  王亚楠;  金妮;  王晨曦
收藏  |  浏览/下载:38/0  |  提交时间:2015/01/20
一种用于集成电路晶圆烘焙的热板 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102781123A, 申请日期: 2012-11-14,
作者:  刘伟军;  王靖震
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2013/10/15
面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102455910A, 申请日期: 2012-05-16, 公开日期: 2014-01-15
作者:  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  李正;  王锴
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2013/10/15
面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN102455910B, 申请日期: 2012-05-16, 公开日期: 2014-01-15
作者:  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  李正;  王锴
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2014/04/16
一种用于集成电路晶圆烘焙的热板 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN202076234U, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2011-12-14
作者:  刘伟军;  王靖震
收藏  |  浏览/下载:28/0  |  提交时间:2013/10/15
等离子增强化学气象沉积设备的控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101469418A, 申请日期: 2009-07-01, 公开日期: 2011-05-11
作者:  于海斌;  王宏;  林跃;  徐皑冬;  周建辉
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2013/10/15
等离子增强化学气象沉积设备的控制方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN101469418B, 申请日期: 2009-07-01, 公开日期: 2011-05-11
作者:  于海斌;  王宏;  林跃;  徐皑冬;  周建辉
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2014/04/16
工业监测用无线网状网络低开销高精度时间同步方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101174939A, 申请日期: 2008-05-07, 公开日期: 2010-02-03
作者:  曾鹏;  于海斌;  尚志军
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