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分布反馈半导体激光器中光栅的干法刻蚀制作工艺 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-06-11, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
付生辉; 宋国锋; 陈良惠
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采用干法刻蚀技术实现RTD与HEMT单片集成的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
马龙; 杨富华; 王良臣; 黄应龙
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一种纳米尺寸金属插塞电极阵列的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910091398.3, 公开日期: 2011-08-31
王晓峰; 张加勇; 王晓东; 季安; 杨富华
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一种制备硅纳米结构的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200810240932.8, 公开日期: 2011-08-31
作者:  张仁平
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纳流体晶体管的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910237096.2, 公开日期: 2011-08-31
张加勇; 王晓峰; 王晓东; 杨富华
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以光刻胶为掩膜对二氧化硅进行深刻蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081225.3, 公开日期: 2011-08-31
作者:  李艳
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集成光子晶体相位调制器的耦合波导激光器的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102299483A, 公开日期: 2012-09-09, 2012-09-09, 2012-09-09
郑婉华; 陈微; 张建心; 渠红伟; 付非亚
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制作纳米管道的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910087127.0, 公开日期: 2011-08-31
张加勇; 王晓峰; 杨富华; 王晓东
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Ⅲ族氮化物纳米材料的生长方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910085917.5, 公开日期: 2011-08-30
孙苋; 刘文宝; 朱建军; 江德生; 王辉; 张书明; 刘宗顺; 杨辉
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分布反馈激光器中基于纳米压印光栅干法刻蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
张奇; 赵懿昊; 董振; 刘素平; 马骁宇
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