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专题:贵州大学
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一种化学机械研磨装置
专利
申请日期: 0, 公开日期: 2018
作者:
李伟
;
刘丁孔
;
胡威威
;
刘琪
;
石小方
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提交时间:2020/01/02
化学机械研磨装置
收纳盒
大圆
液泵
电动伸缩柱
上端固定
研磨
上端
储液罐
定位销
小圆槽
旋转柱
通孔
收纳
部分装置
出液阀门
弹性软管
三角分布
上端螺纹
研磨装置
转动连接
内固定
研磨杆
研磨台
铰接
内插
内端
外端
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