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科研机构
上海微系统与信息技术... [7]
内容类型
专利 [7]
发表日期
2009 [1]
2008 [2]
2007 [2]
2003 [1]
1998 [1]
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内容类型:专利
专题:上海微系统与信息技术研究所
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太赫兹量子级联激光器脊形结构湿法腐蚀的方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101345395, 申请日期: 2009-01-14, 公开日期: 2009-01-14
曹俊诚
;
黎华
;
韩英军
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2012/01/06
基于硅硅键合和绝缘层上硅的压力传感器芯片及方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101271028, 申请日期: 2008-09-24, 公开日期: 2008-09-24
武爱民
;
陈静
;
王曦
;
魏星
;
张波
;
王曦
收藏
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2012/01/06
硅硅键合的绝缘体上硅的高温压力传感器芯片及制作方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101266176, 申请日期: 2008-09-17, 公开日期: 2008-09-17
武爱民
;
陈静
;
王曦
;
魏星
;
张波
;
王曦
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2012/01/06
一种石英玻璃上制作纳米级沟道的方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101037185, 申请日期: 2007-09-19, 公开日期: 2007-09-19
金庆辉
;
刘菁
;
赵建龙
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
一种基于微纳米结构的样品富集芯片、制作方法及富集方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101000290, 申请日期: 2007-07-18, 公开日期: 2007-07-18
金庆辉
;
刘菁
;
赵建龙
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/01/06
降低绝缘体上的硅晶体管源漏串联电阻的结构及实现方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1431717, 申请日期: 2003-07-23, 公开日期: 2003-07-23
董业民
;
王曦
;
陈猛
;
陈静
收藏
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浏览/下载:58/0
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提交时间:2012/01/06
带有稳压管的双极型集成电路及其制造方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1188329, 申请日期: 1998-01-01, 公开日期: 1998-07-22
王剑峰
;
须国忠
;
陈学良
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/01/10
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