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| 存在微结构的基底表面薄膜上表面平整化装置与方法 专利
申请日期: 2018-01-01, 公开日期: 2019-02-15
作者: 闫英; 周平; 郭晓光; 张尚雄; 郭东明
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| 一种具有微结构电介质层的电容压力传感器的微结构设计方法 专利
申请日期: 2018-01-01, 公开日期: 2018-08-10
作者: 张伟; 钟旭燕; 吴承伟
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| 一种具有特殊微结构的陶瓷材料及其制备方法 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2018-04-20
作者: 陈国清; 付连生; 付雪松; 周文龙
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| 一种测量金属微结构残余应力的方法 专利
申请日期: 2016-01-01, 公开日期: 2016-12-21
作者: 杜立群; 宋畅; 罗磊; 陶友胜; 李庆峰
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| 基于液硅熔渗法制备碳陶基复合材料的微结构设计及性能控制方法 专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-10-02
作者: 沙建军; 代吉祥; 张兆甫; 张玉翠
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| 一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法 专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-05-15
作者: 杜立群; 李成斌; 王翱岸
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| 一种用于成型微结构的模具镶块电火花加工方法 专利
申请日期: 2011-01-01, 公开日期: 2012-02-22
作者: 宋满仓; 于超; 张建磊; 王华; 王敏杰
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| 一种电热驱动微结构的制作方法 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-08-25
作者: 杜立群; 贾胜芳; 李永辉; 刘冲; 刘军山
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| 一种用于聚合物微流控芯片微通道超声波键合的微结构 专利
申请日期: 2009-01-01, 公开日期: 2009-09-30
作者: 王晓东; 郑英松; 张宗波; 罗怡; 张振强
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| 双层悬空梁微结构薄膜量热计 专利
申请日期: 2009-01-01, 公开日期: 2009-07-08
作者: 余隽; 唐祯安; 冯冲; 吕安新
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