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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2008 [1]
2007 [2]
1997 [1]
学科主题
Optics [4]
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Optical fiber accelerometer based on MEMS torsional micromirror - art. no. 68360Q
期刊论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III, 2008, 卷号: 6836, 页码: Q8360-Q8360
Zeng, FL
;
Zhong, SL
;
Xu, J
;
Wu, YM
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2011/12/17
SENSORS
A novel hinged micromachined high-g piezoresistive accelerometer - art. no. 642306
期刊论文
INTERNATIONAL CONFERENCE ON SMART MATERIALS AND NANOTECHNOLOGY IN ENGINEERING, PTS 1-3, 2007, 卷号: 6423, 页码: 42306-42306
Fan,KB
;
Xiong,B
;
Che,LF
;
Wang,YL
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提交时间:2011/12/17
FABRICATION
SENSORS
A novel hinged micromachined high-g piezoresistive accelerometer - art. no. 642306
期刊论文
INTERNATIONAL CONFERENCE ON SMART MATERIALS AND NANOTECHNOLOGY IN ENGINEERING, PTS 1-3, 2007, 卷号: 6423, 页码: 42306-42306
Fan, KB
;
Xiong, B
;
Che, LF
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2011/12/17
FABRICATION
SENSORS
Structure design and fabrication of symmetric force-balance micromachining capacitive accelerometer
期刊论文
MICROMACHINING AND MICROFABRICATION PROCESS TECHNOLOGY III, 1997, 卷号: 3223, 页码: 284-293
Zou, Q
;
Lu, DR
;
Li, BQ
;
Xiong, XG
;
Xiong, B
;
Wang, WY
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提交时间:2012/03/25
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