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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Engineering, Electrical & Electronic     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Nanofabrication based on MEMS 期刊论文 PROCEEDINGS OF THE IEEE SENSORS 2004, VOLS 1-3, 2004, 页码: 1044-1047 Wang, YL; Li, XX; Li, T; Yang, H; Jiao, JW 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/11/08 FABRICATION  TECHNOLOGY  RESONATORS  FILMS  SI