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科研机构
国家空间科学中心 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1996 [1]
1995 [1]
学科主题
空间技术 [2]
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学科主题:空间技术
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薄膜制备用电子束蒸发强流气固两用离子源
期刊论文
真空科学与技术, 1996, 卷号: 16, 期号: 6, 页码: 445-448
冯毓材
;
李晓谦
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2014/04/30
表面改性
电子束蒸发
金属离子源
薄膜制备
离子束增强沉积制备碳化硼及C_B_Ti化合物薄膜的结构与力学性能的研究
期刊论文
真空科学与技术学报, 1995, 卷号: 15, 期号: 2, 页码: 79-85
王宇
;
尤大纬
;
夏磊
收藏
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浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2014/04/30
离子束增强沉积
硬膜
碳化硼
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