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甲烷流量对中频磁控溅射制备TiSi-C:H薄膜生长和性能的影响(英文) 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 2305-2310
作者:  姜金龙;  陈娣;  王琼;  黄浩;  朱维君
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含纳米金颗粒的类金刚石碳薄膜的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 200310121062.X, 申请日期: 2007-09-05, 公开日期: 2005-06-29
作者:  阎兴斌;  杨生荣
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