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科研机构
半导体研究所 [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2007 [2]
2005 [2]
2002 [1]
学科主题
微电子学 [5]
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学科主题:微电子学
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Effect of implantation of nitrogen into SIMOX buried oxide on its fixed positive charge density
期刊论文
acta physica sinica, 2007, 卷号: 56, 期号: 9, 页码: 5446-5451
Zheng, ZS (Zheng Zhong-Shan)
;
Zhang, EX (Zhang En-Xia)
;
Liu, ZL (Liu Zhong-Li)
;
Zhang, ZX (Zhang Zheng-Xuan)
;
Li, N (Li Ning)
;
Li, GH (Li Guo-Hua)
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2010/03/29
SIMOX
SIMOX SOI埋氧注氮工艺对埋氧中固定正电荷密度的影响
期刊论文
物理学报, 2007, 卷号: 56, 期号: 9, 页码: 5446-5451
郑中山
;
张恩霞
;
刘忠立
;
张正选
;
李宁
;
李国花
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2010/11/23
Radiation hardness improvement of separation-by-implantation-of-oxygen/silicon-on-insulator material by nitrogen ion implantation
期刊论文
journal of electronic materials, 2005, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: l53-l56
Zhang EX
;
Sun JY
;
Chen J
;
Zhang ZX
;
Wang X
;
Li N
;
Zhang GQ
;
Liu ZL
收藏
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浏览/下载:193/29
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提交时间:2010/03/17
silicon-on-insulator (SOI)
注氮工艺对SOI材料抗辐照性能的影响
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 1269-1272
张恩霞
;
钱聪
;
张正选
;
王曦
;
张国强
;
李宁
;
郑中山
;
刘忠立
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/11/23
不同能量氮氧共注入形成的多层SOI结构
期刊论文
功能材料与器件学报, 2002, 卷号: 8, 期号: 3, 页码: 228-232
刘相华
;
陈猛
;
刘忠立
;
王曦
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/11/23
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