CORC

浏览/检索结果: 共5条,第1-5条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页:   排序方式:
Effect of implantation of nitrogen into SIMOX buried oxide on its fixed positive charge density 期刊论文
acta physica sinica, 2007, 卷号: 56, 期号: 9, 页码: 5446-5451
Zheng, ZS (Zheng Zhong-Shan); Zhang, EX (Zhang En-Xia); Liu, ZL (Liu Zhong-Li); Zhang, ZX (Zhang Zheng-Xuan); Li, N (Li Ning); Li, GH (Li Guo-Hua)
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2010/03/29
SIMOX  
SIMOX SOI埋氧注氮工艺对埋氧中固定正电荷密度的影响 期刊论文
物理学报, 2007, 卷号: 56, 期号: 9, 页码: 5446-5451
郑中山; 张恩霞; 刘忠立; 张正选; 李宁; 李国花
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2010/11/23
Radiation hardness improvement of separation-by-implantation-of-oxygen/silicon-on-insulator material by nitrogen ion implantation 期刊论文
journal of electronic materials, 2005, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: l53-l56
Zhang EX; Sun JY; Chen J; Zhang ZX; Wang X; Li N; Zhang GQ; Liu ZL
收藏  |  浏览/下载:193/29  |  提交时间:2010/03/17
注氮工艺对SOI材料抗辐照性能的影响 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 1269-1272
张恩霞; 钱聪; 张正选; 王曦; 张国强; 李宁; 郑中山; 刘忠立
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2010/11/23
不同能量氮氧共注入形成的多层SOI结构 期刊论文
功能材料与器件学报, 2002, 卷号: 8, 期号: 3, 页码: 228-232
刘相华; 陈猛; 刘忠立; 王曦
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2010/11/23


©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by CSpace