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科研机构
半导体研究所 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2014 [1]
2011 [1]
2005 [1]
学科主题
微电子学 [3]
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学科主题:微电子学
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Impact of CHF3 Plasma Treatment on AlGaN/GaN HEMTs Identified by Low-Temperature Measurement
期刊论文
chinese physics letters, 2014, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 048501
Du, YD
;
Han, WH
;
Yan, W
;
Yang, FH
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2015/04/02
T-shaped gate AlGaN/GaN HEMTs fabricated by femtosecond laser lithography without ablation
期刊论文
applied physics a: materials science and processing, 2011, 页码: 1-5
Du, Y.D.
;
Cao, H.Z.
;
Yan, W.
;
Han, W.H.
;
Liu, Y.
;
Dong, X.Z.
;
Zhang, Y.B.
;
Jin, F.
;
Zhao, Z.S.
;
Yang, F.H.
;
Duan, X.M.
收藏
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浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/06/14
Ablation
Drain current
Fabrication
Gallium nitride
High electron mobility transistors
Photoresists
Ultrashort pulses
X-Band GaN Power HEMTs with Power Density of 2.23W/mm Grown on Sapphire by MOCVD
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 1865-1870
作者:
Wang Cuimei
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提交时间:2010/11/23
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