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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：半导体器件    内容类型：专利    专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于金属有机化学气相沉积设备的反应室进气装置 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-01 冉军学; 胡强; 胡国新; 梁勇; 熊衍凯; 王军喜; 曾一平; 李晋闽 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2014/12/25