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氢离子注入硅片退火行为的高压电镜原位观察 期刊论文
中国有色金属学报, 1998, 卷号: 8, 期号: 4, 页码: 626
王敬; 屠海令; 刘安生; 张椿; 周旗钢; 朱悟新; 高文; 李建明
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