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科研机构
上海光学精密机械研... [45]
内容类型
期刊论文 [45]
发表日期
2008 [13]
2007 [11]
2006 [14]
2005 [7]
学科主题
光学薄膜 [45]
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学科主题:光学薄膜
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真空紫外光学薄膜及薄膜材料
期刊论文
激光与光电子学进展, 2008, 卷号: 45, 期号: 1, 页码: 57, 64
薛春荣
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1516/220
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提交时间:2009/09/22
HfO2的纯度对紫外多层膜反射率的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 222, 224
袁景梅
;
齐红基
;
赵元安
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1168/161
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Glow discharge mass spectrum
紫外膜
Ultraviolet multilayer
ZrO2
HfO2
光学性能
低损耗193nm反射膜的设计
期刊论文
光学精密工程, 2008, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 397
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:1072/199
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提交时间:2009/09/22
反射膜
Absorption loss
电场强度
Electricity field intensity
吸收损耗
High reflectance
散射损耗
HR coating
HR mirror
Outer layer
Scattering loss
基于平板夹具的电子束蒸发沉积薄膜中的挖坑效应分析
期刊论文
真空, 2008, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 12, 16
夏志林
;
赵元安
;
黄才华
;
薛亦渝
;
杨芳芳
;
郭培涛
收藏
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浏览/下载:1160/184
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提交时间:2009/09/22
低损耗193nm增透膜
期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 3, 页码: 1946, 1950
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1216/178
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提交时间:2009/09/22
193 nm
AR coatings
optical loss
reflection
SiO_2薄膜折射率的准确拟合分析
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 760, 763
王胭脂
;
张伟丽
;
范正修
;
黄建兵
;
晋云霞
;
姚建可
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1306/128
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提交时间:2009/09/22
词薄膜
SiO2折射率
包络法
准确拟合
Accurately fitting
Envelop method
Optical-
Refractive index of SiO
2
Thin films
沉积温度对热舟蒸发MgF2薄膜性能的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 396, 400
尚淑珍
;
赵祖欣
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:862/126
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Absorbance
氟化镁
Laser induced damage threshold
光学损耗
MgF2 films
吸收
Reflectance spectra
损伤阈值
Resistance boat evaporation
Transmittance spectra
高反射率193nm反射膜的实现
期刊论文
应用激光, 2008, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 19
尚淑珍
;
赵祖欣
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1154/133
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提交时间:2009/09/22
193nm
反射膜
反射率
光学稳定性
基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析
期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 8, 页码: 4904, 4910
孔伟金
;
云茂金
;
孙欣
;
刘均海
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1306/173
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提交时间:2009/09/22
diffraction efficiency
multi-layer dielectric grating
rigorous coupled-wave analysis
倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展
期刊论文
稀有金属材料与工程, 2008, 卷号: 37, 期号: 8, 页码: 1317, 1322
肖秀娣
;
董国平
;
余华
;
范正修
;
贺洪波
;
邵建达
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浏览/下载:1178/171
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提交时间:2009/09/22
倾斜沉积
glancing angle deposition
雕塑薄膜
sculptured thin film (STF)
各向异性
anisotropy
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