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科研机构
上海光学精密机械研... [30]
内容类型
期刊论文 [30]
发表日期
2008 [7]
2007 [9]
2006 [5]
2005 [9]
学科主题
光学薄膜 [30]
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学科主题:光学薄膜
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70
75
80
85
90
95
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真空紫外光学薄膜及薄膜材料
期刊论文
激光与光电子学进展, 2008, 卷号: 45, 期号: 1, 页码: 57, 64
薛春荣
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1516/220
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提交时间:2009/09/22
HfO2的纯度对紫外多层膜反射率的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 222, 224
袁景梅
;
齐红基
;
赵元安
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1168/161
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Glow discharge mass spectrum
紫外膜
Ultraviolet multilayer
ZrO2
HfO2
光学性能
低损耗193nm增透膜
期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 3, 页码: 1946, 1950
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1216/178
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提交时间:2009/09/22
193 nm
AR coatings
optical loss
reflection
沉积温度对热舟蒸发MgF2薄膜性能的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 396, 400
尚淑珍
;
赵祖欣
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:862/126
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Absorbance
氟化镁
Laser induced damage threshold
光学损耗
MgF2 films
吸收
Reflectance spectra
损伤阈值
Resistance boat evaporation
Transmittance spectra
热舟蒸发LaF_3薄膜的紫外性能研究
期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 3, 页码: 1941, 1945
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
;
赵祖欣
收藏
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浏览/下载:1374/225
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提交时间:2009/09/22
optical film
depositing temperature
LaF3
optical loss
355nm增透膜的设计、制备与性能
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 2026, 2030
余华
;
崔云
;
申雁鸣
;
齐红基
;
易葵
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1127/186
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提交时间:2009/09/22
薄膜
增透膜
热舟蒸发
真空退火
激光损伤阈值
355 nm lasers
Damage morphologies
Electric-field
In vacuums
Laser damage resistances
Laser induce damage threshold
Masking technologies
Spectrum stabilities
Substrate interfaces
Surface conditions
Thermal boat evaporation
Vacuum annealing
4H-SiC基底Al_2O_3/SiO_2双层减反射膜的设计和制备
期刊论文
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 12, 页码: 2431, 2435
黄火林
;
张峰
;
吴正云
;
齐红基
;
姚建可
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1120/176
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提交时间:2009/09/22
薄膜光学
Al2O3/SiO2双层减反射膜
电子束蒸发
4H-SiC基底
折射率
4H-SiC substrate
Al
2
O
3
/SiO
2
double-layer anti-reflection coatings
Deposited layers
Electron beam evaporation
Layer coatings
Layer thicknesses
Physical thicknesses
Reference wavelengths
Reflection spectrums
Scanning electron microscopes
SEM images
Single layers
Thin film optics
UV optoelectronic devices
Wavelength selectivities
离子束辅助反应制备的氧化铪薄膜特性
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 2087
王聪娟
;
晋云霞
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:788/162
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提交时间:2009/09/22
薄膜
Thin film
氧化铪
Hafnium oxide
离子束辅助
Ion-assisted deposition
反应沉积
Reactive deposition
两种后处理方法对HfO2薄膜性能的影响
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 9, 页码: 1683, 1686
尚光强
;
王聪娟
;
袁磊
;
贺洪波
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:822/183
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提交时间:2009/09/22
氧化铪薄膜
薄膜退火
抗激光损伤阂值
薄膜吸收
沉积速率对热舟蒸发LaF
3
薄膜性能的影响
期刊论文
中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: 1557, 1561
余华
;
崔云
;
申雁鸣
;
齐红基
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:842/167
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提交时间:2009/09/22
薄膜
LaF3单层膜
沉积速率
退火
折射率
激光损伤阈值
thin films
LaF3 single-layer coatings
deposition rate
annealing
refractive index
laser-induced damage threshold
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