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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：光学薄膜     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 薄膜厚度对HfO2薄膜残余应力的影响 期刊论文 稀有金属材料与工程, 2007, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 412, 415 申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修; 邵建达 收藏  |  浏览/下载：1101/176  |  提交时间：2009/09/22 HfO2薄膜  HfO2 thin film  残余应力  residual stress  膜厚  thin film thickness  电子束蒸发  electron beam evaporation   沉积温度对HfO2薄膜残余应力的影响 期刊论文 强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 12, 页码: 1812, 1816 申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修; 邵建达 收藏  |  浏览/下载：566/107  |  提交时间：2009/09/22 HfO2薄膜  HfO2 films  残余应力  Residual stress  沉积温度  Deposition temperature  微结构  Microstructure  X射线衍射  XRD