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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：268/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   高密度光栅中的简化模式方法 学位论文 作者:  项长铖 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/12/26 简化模式方法  Simpified modal method  衍射光栅  Diffraction grating  谐振  Resonance  光学测量  Optical measurement   星载大气激光雷达光机集成分析的研究 学位论文 作者:  穆永吉 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/12/26 激光雷达，光机集成分析，有限元分析，光学设计，Zernike拟合  Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting   光栅尺关键技术研究 学位论文 作者:  卢炎聪 收藏  |  浏览/下载：185/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅干涉仪  grating interferometer  标尺光栅  grating scale  光学细分  optical subdivision  信号探测  signal acquisition  位移测量  displacement measurement   光学测量中的二维Gold矩阵方法 学位论文 作者:  李号 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2018/12/26 二维Gold矩阵  Two-dimensional Gold matrix  二维绝对式光栅尺  Two-dimensional absolute optical encoder  结构光  Structured light