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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术 学位论文 作者:  董冠极 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2018/12/26 光学检测  Optical Measurement  像差  Aberration  泽尼克多项式  Zernike polynomials  点衍射干涉  Point-diffraction   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：90/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)