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接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张伟
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基于计算机视觉的破片参数精密测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所, 2008
沈满德
收藏  |  浏览/下载:55/0  |  提交时间:2011/10/09
基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文
作者:  王磊
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