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光电技术研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2016 [1]
2008 [1]
学科主题
光学工程 [3]
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学科主题:光学工程
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接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
张伟
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/12/30
表面等离子体光刻,衍射极限,工作距,离轴照明,贝塞尔光束,双曲色散超材料
基于计算机视觉的破片参数精密测量技术研究
学位论文
博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所, 2008
沈满德
收藏
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2011/10/09
计算机视觉检测
破片参数
图像处理
摄像机标定
精度分析
基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术
学位论文
作者:
王磊
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2018/12/26
光刻
optical lithography
分辨率增强技术
resolution enhancement technique
光源掩模投影物镜优化
source mask projector optimization
粒子群算法
particle swarm optimization
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