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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：264/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   光栅尺关键技术研究 学位论文 作者:  卢炎聪 收藏  |  浏览/下载：171/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅干涉仪  grating interferometer  标尺光栅  grating scale  光学细分  optical subdivision  信号探测  signal acquisition  位移测量  displacement measurement   基于遗传算法优化阵列构型的可预置稀疏阵关联成像研究 学位论文 作者:  吴瀚 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2018/12/26 关联成像  Ghost Imaging  稀疏阵  Sparse Array  遗传算法  Genetic Algorithm   衍射透镜焦斑的非迭代相干检测研究 学位论文 作者:  王松贤 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2018/12/26 衍射透镜  diffractive lenses  数字全息  digital holography,  微光器件  micro-optical device,  光子筛  photon sieve,  自动对焦  autofocus   高功率激光光束质量提升关键因素研究 学位论文 作者:  雷泽民 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/12/26 光束质量  beam quality  光束传输模拟  light propagation simulation  光学元件面形  optical component surface  连续相位板  continuous phase plate  集束聚焦  beam array focus