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纳米压印技术的工艺和图形精度研究 期刊论文
半导体光电, 2010
顾文琪
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2010/09/29
纳米压印光刻技术及其设备研制 期刊论文
中国机械工程, 2010
顾文琪
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2010/09/29
气囊气缸式紫外纳米压印系统的设计 期刊论文
半导体光电, 2010
顾文琪
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2010/09/29
气囊气缸式真空紫外纳米压印设备研制 期刊论文
光电工程, 2010
顾文琪
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2010/09/29


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