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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2020    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Improved etching uniformity using equivalent electrodes on an unconventional, irregular membrane optical element for large aperture diffractive optical telescopes 会议论文 作者:  Zhang, Jingwen;  Li, Zhiwei;  Shao, Junming;  Liu, Dun;  Fan, Bin 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/12/18 Electrodes  Electron temperature  EtchingElectron number densities  Etching depth  Etching uniformity  Irregular sample  Irregular shape  Large aperture  Plasma characteristics  Plasma discharge