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长春光学精密机械与物... [1]
宁波材料技术与工程研... [1]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2019 [2]
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发表日期:2019
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基于柔性并联机构的变刚度夹持器设计分析
期刊论文
机械工程学报, 2019, 卷号: 55, 期号: 21, 页码: 64-72
作者:
李建钢
;
杨桂林
;
张林
;
张驰
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提交时间:2019/12/18
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究
学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
赵磊
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提交时间:2020/08/24
投影光刻物镜
像质补偿技术
柔顺微动机构
主动变形镜
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