QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2019     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  张璐 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测   横向剪切干涉测量中一种获得无耦合Zernike系数的模式复原方法 期刊论文 光电工程, 2019, 卷号: 46, 期号: 5, 页码: 10-20 作者:  孙文瀚[1,2,3];  王帅[1,2];  何星[1,2];  陈小君[1,2,3];  许冰[1,2] 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2021/05/06 Zernike圆多项式  Zernike环多项式  剪切干涉  波前复原  模式耦合